大连不锈钢pcw水箱

大连不锈钢pcw水箱, 1．2系统特点 　　工艺冷却水系统，根据生产工艺的不同要求，设计上会有或多或少的差别，本TFT厂房工艺冷却水系统和一般工业厂房循环冷却水系统比较，有类似的地方，但亦存在不少差别， 本工艺冷却水系统特点如下： 　　(1)系统较一般工业系统循环水水质要求较高，且系统补水一般使用RO水或超纯水，系统在输水管网前端经过5um，99%的过滤器微过滤，在输水管网末端某些设备使用点，对水质要求更高，比如爆光机，CVD等设备，要单独设置精密过滤器，为保证系统可靠性，末端过滤器采用一用一备。 　　(2)系统设计为闭式循环系统(②你这个属于开式循环系统)，管网布置形式采用同程管路布置设计，其优点是： 　　1)水在管路内密闭循环，不与大气接触，可以有效防止二次污染(水质不会产生二次污染)； 　　2)水泵安装位置选择简易，可以安装在系统任何位置(③开篇说本系统包括3个环路，这里具体指哪个环路？)，运行过程中整个系统充满水，水泵扬程只需克服循环阻力，不需克服水柱的静压力，不锈钢pcw水箱，动力节省，通常情况下，考虑维护检修方便，水泵及系统相关设备均会设置在单独的设备机械室，本系统在主厂房辅房设有单独的设备冷却机械室；

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自控系统的设计要求 　　本系统PLC模块自控系统的设置，既保证了系统能在正常情况下自动运行，对系统的运行稳定性，整个系统的节能，起到了关键性的作用。 　　(1) 供水水温的控制 　　根据工艺设备对供水温度的需求，本系统对供水温度要求控制在20℃，供水温度通过安装在输水管道上温度传感器采集，传输到PLC运算控制模块，控制冷冻水侧电动阀开启度调节冷冻水侧流量，从而控制板换冷量交换，使冷却水达到20℃的设计目标要求。(⑦工艺水的水温依赖的是低温水箱内的水温，低温水箱水温的影响因素包括一次侧跟冷冻水换热后的进水，也包括高温水箱流入低温水箱的水温影响，也包括环境温度，水箱容积也对水温调节的灵敏产生影响,二次侧水泵的变流量运行也对水温有影响) 　　(2)供水电导率的控制 　　控制供水电导率其实是间接反映对供水水质的控制，系统高温水箱补水采用RO水及超纯水，电阻率高于1.0KΩ·CM。当安装在高温水箱中的电导率测试仪检测到电导率不满足设定要求时，系统会将此信号传到PLC控制模块，PLC经运算控制超纯水补水管路上电动阀开启度确定补水量。另外为防止水箱中水与大气直接接触，影响水的电导率，采用氮封保护水质。(⑧高低温水池里面设置氮封了？压力多大

大连不锈钢pcw水箱, 供水压力控制 　　对系统供水进行控制，使其维持在一定压力**现在对二次水泵控制方式上。本系统二次泵采用变频调速控制，即通过系统供水压力来调节变频器频率。本系统设定供水压力值为0.5MPa。压力传感器0~10V信号对应变频器的30~40Hz。当系统压力低于0.5MPa时,变频器频率升高，以使系统维持0.5MPa的供水压力。当系统压力高于0.5MPa时，变频器频率降低。同时压力传感器控制水泵出口端回水电动阀的启闭，当压力大于设定值(0.5MPa)时，电动阀打开，以防止系统压力过高，对后续管路尤其是工艺设备产生影响。 　　结语：国内大型半导体厂房建设，多由国外或台资公司总包，工艺设计也多由日本公司或台资公司完成，工艺冷却水作为支持半导体关键性一环，其设计关乎整个厂房系统工艺设备能否正常运行，本文也只是粗浅地谈谈关乎系统设计的相关问题，当然还有一些设计细节需要在今后的设计项目中不断完善。

2．1 二次泵系统中水箱(缓冲水槽)平衡问题 　　二次泵系统中水箱平衡问题即高温水箱和低温水箱之间的水平衡问题，本系统水箱平衡除考虑两水箱的容积和连通管的设置，还要考虑一次侧环路和二次侧环路水泵的选型，两水箱的容积对于循环水泵的吸水段起到系统缓冲作用，两水箱连通管的设置既要能保证两水箱间在用水差异时的平衡，又要能保证高温水箱中的水不会过多流入低温水箱，否则低温水箱冷却水水温将很难得到保证，在水泵选型上，除要考虑一次侧环路和二次侧环路水泵的流量一致性，还要考虑两环路循环水泵的不同控制方式，在运行方式上，一次侧环路可以采用定流量控制，而二次侧环路可采用变流量控制。这样的控制方式既能有助于系统运行的稳定性，又有助于系统的节能。

大连不锈钢pcw水箱, 过滤器选型与设计要求问题 　　水过滤器或过滤装置的选择，是本系统设计的又一关键问题，半导体设备对水质的要求较高，因此前端过滤器选择，除要考虑后续管路可能对水质的影响，还要兼顾考虑不同工艺设备水质要求的差异，本系统前端过滤器选用5um，99%过滤要求的不锈钢过滤器，末端过滤器选择根据末端工艺设备的水质要求确定，另外选择过滤器时还要考虑其工作压力，密封圈密封严密性问题以及是否便于反洗或更换滤芯，切忌在低于水泵比较大扬程下工作，或过滤器工作压力正常情况下能满足要求(⑥语句不通)，水泵运行不平稳时(比如工频运行时)出现泄露，本问题在同类工程上出现过，应引起相关工程人员注意。